机译:高效的氮化硅SINX:H抗反射和钝化层,用于硅太阳能电池的大气压PECVD沉积
机译:用于太阳能电池的PECVD生长的无氨非晶氮化硅薄膜的拉曼光谱和FTIR研究
机译:40 keV氩离子处理改性PECVD氮化硅薄层的表面湿润性
机译:微波激发PECVD氮化硅层的FTIR分析
机译:用于集成电路钝化的低频PECVD氮化硅的合成与分析
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:微波激发pECVD氮化硅层的FTIR分析
机译:通过快速热氧化物/ pECVD氮化硅叠层有效钝化低电阻率硅表面及其在钝化后部和双面si太阳能电池中的应用